WebIn der Abteilung Präzisionsbeschichtung am Fraunhofer FEP entwickeln wir Puls- Magnetron -Sputter- und Magnetron -PECVD-Prozesse, um mit hohen Beschichtungsraten optische, elektrische, akustisch oder magnetisch wirksame Schichten und Schichtsysteme mit hoher Qualität und geringer Fehlstellenzahl aufzubringen. www1.fep.fraunhofer.de WebSolche auch als bipolar gepulstes Magnetronsputtern bezeichneten Verfahren finden für die nichtreaktive und reaktive Abscheidung dünner Schichten zur Beschichtung von Glas, Kunststoff-Folien,...
Sputterabscheidung - Sputter deposition - abcdef.wiki
WebThe sputtering “Yield” calculation data in the third column represents the number of target atoms sputtered (ejected from the target) per argon ion striking the target with a kinetic energy of 600 ev. This energy is typical for an Argon plasma. Magnetron design factors such as the magnetic field strength (and process parameters such as gas ... WebSputter — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem … the mediterranean dish baked brie with apples
DE10234862A1 - Verfahren zum Bipolar-Magnetronsputtern
WebThe main ionisation mechanism is electron impact, which is balanced by charge exchange, diffusion, and plasma ejection in flares. The ionisation rates depend on the plasma … WebContact. Dr.-Ing. Otmar Zimmer. Group Manager PVD Coatings. Fraunhofer Institute for Material and Beam Technology IWS. Winterbergstr. 28. 01277 Dresden. Phone +49 351 83391-3257. Send email. WebA sputtering cath ode operating on the magnetron principle with a target (3), consisting of at least one piece, of the material to be sputtered with a magnet system, arranged behind … the mediterranean bray